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zhh1249

新虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于SEM

要怎么样读SEM的图?能从里面读出什么信息?SEM能看到的最小尺度是多少啊?
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hdlghgx

银虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
chemistryer(金币+1,VIP+0):鼓励交流 11-20 23:37
一般现在的SEM可以看到500nm以上的孔道结构和形貌,这里形貌一般有球形,方块,柱状等。
如果进一步要看到几十nm的形貌,那就需要F-SEM也就是场发射扫描电镜。
一般来说,SEM跟机器的检测限能力有关,同时操作员的水平也有很大关系,对焦是否精准,对比度是否合适,找形貌找的区域是否合适,制样是否均匀等等。
一般我们做SEM,本人直接到场与操作人员交流。
SEM的读取,用E尺,就是那种在电脑上读取尺寸的软件。
7楼2009-11-19 16:59:32
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