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测量半导体超纯水中的TOC(要求<0.5ppb),哪种技术更能兼顾灵敏度和稳定性?
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| 薄膜电导检测法(Membrane Conductivity)和紫外-过硫酸盐氧化-NDIR检测法,在应对ppb级甚至亚ppb级的超纯水低浓度TOC测定时,谁的基线更稳、抗干扰能力更强?长期运行下的维护量差异大吗? |
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