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半导体超纯水中痕量 TOC检测,湿法氧化与薄膜电导技术相比,哪个更具优势?
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| 半导体行业对超纯水TOC要求近乎极限。湿法氧化技术成熟,但可能在极低浓度下受空白值波动影响;新兴的薄膜电导法(如Sievers膜电导)响应快、无试剂。总有机碳检测仪在实际运行中,哪种技术在对ppb级波动的灵敏度和长期稳定性上表现更佳? |
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