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北京瑞弛

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专业: 金属功能材料

[交流] 靶材的应用领域

1. 半导体集成电路领域（技术要求最高）
这是靶材最核心、技术要求最高的应用领域。在芯片制造中，薄膜用于连接数以亿计的晶体管，构成复杂的电路。

导电层：使用高纯铜（Cu）、铝（Al）、钛（Ti）、钽（Ta）等靶材形成芯片内部的金属互连线。铜因其优异的导电性已成为主流。

阻挡层：使用钽（Ta）、氮化钽（TaN）、钛（Ti）、氮化钛（TiN）等靶材，防止铜原子扩散到硅基体中，从而保证芯片性能稳定。

接触层：使用钴（Co）、镍（Ni）等靶材，在晶体管源极、漏极和栅极形成良好的欧姆接触。

技术要求：对靶材的纯度（通常要求99.999%-99.9999%）、微观结构、密度和均匀性有极其严苛的要求。

2. 平板显示领域（市场规模最大）
在液晶显示器（LCD）、有机发光二极管显示器（OLED）中，靶材用于制作各种功能性薄膜。

电极层：

LCD：使用铝（Al）、钼（Mo）、铜（Cu）等金属靶材制作薄膜晶体管（TFT）的源极、漏极和栅极。

OLED：使用ITO（氧化铟锡）靶材制作透明阳极，是当前的主流技术。

透明导电层： ITO靶材是应用最广泛的材料，用于制作触摸屏、液晶面板的透明电极。由于铟的稀缺性，也在开发氧化锌铝（AZO）等替代材料。

阻挡层：在OLED中，使用镁（Mg）、铝（Al）等金属靶材在柔性基板上制备水氧阻挡层，以延长器件寿命。

3. 太阳能光伏领域
在薄膜太阳能电池中，靶材是形成光吸收层和电极层的关键材料。

CIGS（铜铟镓硒）薄膜电池：直接使用铜（Cu）、铟（In）、镓（Ga）、硒（Se）的单质或合金靶材，通过溅射形成光吸收层。

HJT（异质结）电池：使用ITO（氧化铟锡）或ICO（氧化铟钨）等透明导电氧化物靶材作为透明导电层，性能优异。

薄膜电极：使用铝（Al）、铜（Cu）、钼（Mo）等作为背电极材料。

4. 信息存储领域（传统但仍在发展）
用于制造硬盘、光盘等存储介质的磁性薄膜和反射层。

磁记录介质：使用钴（Co）、铬（Cr）、铂（Pt）及其合金靶材，在硬盘盘片上形成高密度的磁性记录层。

反射层：在DVD、蓝光光盘中，使用银（Ag）、铝（Al）等靶材制作高反射率的反射层。

5. 其他应用领域
工具镀/耐磨涂层：在切削工具、模具表面镀上氮化钛（TiN）、氮化铬（CrN）、碳化钛（TiC）等硬质薄膜，大幅提高其硬度、耐磨性和使用寿命。

装饰镀：在手表、首饰、洁具、手机外壳等产品上镀制氮化钛（TiN，金色）、碳化钛（TiC，黑色）、铬（Cr，亮银色）等薄膜，提供美观、耐久的表面效果。

玻璃镀膜：

建筑玻璃：使用铬（Cr）、钛（Ti）等靶材镀制低辐射（Low-E）膜，实现隔热、保温、节能。

汽车玻璃：镀制防雾、防霜、防眩光等功能薄膜。

光学元件：在镜头、激光镜等光学元件上镀制增透膜、反射膜、滤光膜等，使用二氧化硅（SiO?）、二氧化钛（TiO?）等氧化物靶材。

发自小木虫手机客户端

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1楼2025-11-06 09:56:48

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