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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【求助】如何确定MBE外延膜的厚度
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btvipvip

新虫 (正式写手)

[交流] 【求助】如何确定MBE外延膜的厚度

各位大侠：用MBE 方法在GaAs上做的异质外延膜,厚度大概40nm左右,如何确定外延膜的厚度?(精确度在2nm以内)菜鸟在线等各位大侠的帮助.不胜感激!!!!!!!!!!!!!
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1楼 2009-11-10 15:09:26
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
另外用TEM看外延层截面可以知道厚度。就是制样费劲！
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没有困难创造困难也要上网。
3楼2009-11-10 15:31:28
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
MBE设备上不是有原位RHEED嘛，通过RHEED振荡曲线的周期个数可以推断外延层厚度！
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-10 15:29:50
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btvipvip

新虫 (正式写手)
异质外延RHEED一般很难测到振荡的,TEM 昂贵而且费时烦琐,还有没有其他手段,顺便问下,俄歇电子能谱精确度怎么样?能精确到2nm么?
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4楼2009-11-10 16:59:37
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