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[求助]
求助，磁控溅射仪器在清洗的阶段流量仪示数降不下去
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| 机器上只通了两个气瓶，之前做实验的时候正常抽真空清洗阶段可以降到1到2点多，现在每次在示数7到8的时候就不动了并且还会回升到9，请问这是什么情况？是不是哪个位置漏气了 |
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