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[交流] 我国半导体光刻设备发展现状与国际差距分析

2025-09-02 16:20:52   [  中关村在线 原创  ]   作者:薄荷糖的夏天
近年来,我国在半导体芯片领域持续发力,努力缩小与国际先进水平的差距,但整体来看,仍存在较大距离,尤其是在关键设备领域,仍面临诸多挑战。

根据国际知名投行最新发布的报告,目前我国自主研发的光刻机主要能支持65nm工艺的芯片制造,与全球领先的光刻设备制造商相比,差距约为二十年。尽管中芯国际已经具备生产7nm工艺芯片的能力,但该报告认为,这很可能依赖于较为早期的深紫外(DUV)光刻技术,而相关设备并非国产,因为国内尚未掌握该类设备的自主制造能力,更遑论更先进的极紫外(EUV)光刻技术。

当前,最新一代的High-NA EUV光刻设备已经开始向英特尔、台积电和三星等企业交付,这对1.4nm及以下制程的开发至关重要。该设备重量达180吨,体积庞大,堪比一辆双层巴士,是目前全球最复杂、最昂贵的半导体制造设备之一,单台售价预计超过四亿美元。

报告中还提到,从65nm到3nm甚至更先进制程的发展,相关企业用了约二十年时间,累计投入超过四百亿美元的研发和资本支出。因此,综合考虑当前我国半导体行业的技术水平、先进制程研发所需的巨大资金与技术投入、全球产业链的复杂性以及地缘政治带来的不确定性,短期内我国在光刻设备领域要赶上国际先进水平仍面临较大困难。

数据显示,2025年第二季度,相关光刻设备制造商实现销售额七十七亿欧元,同比增长超过二成,毛利率达到百分之五十三点七,净利润为二十三亿欧元,同比增幅近百分之四十五。
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