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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 原子层沉积技术完美工艺赏析与交流
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929545406

新虫 (正式写手)

[交流] 原子层沉积技术完美工艺赏析与交流

洁净永无止境（非常重要！）
真空漏率要引起特别重视
前驱体（MO源）的纯度
内腔体的侧漏
工艺腔体particle的彻底清理
purge气体
敏感材料如氧化锌的基板提前钝化
泵的抽速
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1楼 2025-07-22 07:53:32
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lyxiaomc

铁杆木虫 (著名写手)
★
929545406(金币+1): 谢谢参与
这个还要控制好温度 吧
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11楼2025-12-10 21:43:01
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tzynew2楼
2025-07-22 08:00   回复  
929545406(金币+1): 谢谢参与
ii 发自小木虫手机客户端
s9659z3楼
2025-07-22 10:20   回复  
929545406(金币+1): 谢谢参与
tfang4楼
2025-07-22 10:53   回复  
929545406(金币+1): 谢谢参与
nono20095楼
2025-07-22 10:56   回复  
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`
miaojiabing6楼
2025-07-22 16:55   回复  
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庚辰辛丑7楼
2025-07-22 17:13   回复  
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shenrenren8楼
2025-07-22 18:30   回复  
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psylhh9楼
2025-07-22 21:01   回复  
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lymjjh10楼
2025-07-26 20:53   回复  
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