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原子层沉积技术完美工艺赏析与交流
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洁净永无止境（非常重要！） 真空漏率要引起特别重视 前驱体（MO源）的纯度 内腔体的侧漏 工艺腔体particle的彻底清理 purge气体 敏感材料如氧化锌的基板提前钝化 泵的抽速 欢迎交流ALDSHARE |
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11楼2025-12-10 21:43:01
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2025-07-22 08:00
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s9659z3楼
2025-07-22 10:20
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