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氧化铝流延片烧结 已有7人参与
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最近再做氧化铝流延薄片0.5mm烧结，想请教大家怎么烧平整，隔离粉用什么比较好的？ 发自小木虫手机客户端 |
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guoj5292
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2楼2025-07-01 23:35:32
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3楼2025-07-02 17:00:00
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隔离粉用氮化硼比较多，我也见过HTCC不用隔离，直接4-5层一起烧的。至于烧平整，先保证支撑面是平的，基片溶剂残留尽量少，温度设置合理，不要过烧，最后上面再放个平板压平整就行 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2025-07-04 11:50:39
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HerbertHsu 
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水基流延含技術支持。8楼2025-08-25 15:54:16
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0.5mm这个厚度对于流延片来讲并不薄了。而且平整跟尺寸也有很大关系，尺寸越大越难烧平整，所以后面会引入一个比烧结温度低150-200℃的抚平（需要压重物）。2.隔粘粉用球形氧化铝就行了。 发自小木虫手机客户端 |
10楼2025-10-31 13:56:59
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