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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 制备成型 » 二氧化硅刻蚀
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只只羊

新虫 (初入文坛)

[求助] 二氧化硅刻蚀 已有1人参与

想问一下诸位大佬，关于刻蚀二氧化硅，除了可以用HF,热浓的氢氧化钠，还有氟化氢铵，还可以用什么比较安全简单的方法刻蚀二氧化硅吗，感谢各位大佬回答
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1楼 2025-06-18 21:13:34
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NanoPi

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
如果sol-gel生成的话，用沸水应该都能去掉吧，或者碱性溶液能泡掉
如果用CVD成膜的话，可以用ICP干法刻蚀去掉

希望对你有帮助。
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2楼2025-06-19 10:19:31
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求调剂，求学上

新虫 (小有名气)
退火以后呢
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3楼2026-11-10 20:54:55
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