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爱吃猪蹄的猩猩

铁虫 (初入文坛)

[交流] 涂层薄膜制备技术

金属、陶瓷、铜基体上成形陶瓷涂层、钨、钽、铼涂层(单层或叠层制备)---------------------德国技术

1、原理:
        以电子束作为热源,利用其较高的加热和蒸发速率,可以蒸发几乎所见到多数物质形成涂层蒸镀效应,制备涂层与工件呈化学结合;

      电子束功率易于调节,束斑尺寸和位置易于控制,有利于精确控制膜厚和均匀性,用于制备航空发动机、燃气轮机、半导体等行业的多种涂层;

       根据自身不同需求选择不同的设备功能模块,实现:熔炼---涂层开发---材料提纯--电子束照射;
        电子束可用于非常有效地熔化和精炼具有高熔点的金属。或者材料可以被蒸发以在各种基片上凝结。实现非常高的镀膜速率,比磁控溅射高十到一百倍

2、设备功能:
            陶瓷涂层制备-----------------------------------------------------较高的涂层沉积效率(5微米/分钟)
            双层及叠层涂层制备(新型涂层开发)-----------------长寿命连续稳定的工作模式
            金属:铼、钨、钽、钼、铌、铪、铬、钒、锆 、钛等涂层
            超高温加热------------------------大于3500℃

3、技术参数:
          型号:HTJ078
          熔炼、材料提纯、多层涂层制备综合一体
          蒸发材料类型:陶瓷、金属、合金等
         双层或多层材料成份在线制备:>5组
          电子枪功率:0-50KW/0-150KW单枪(可选配升级300KW)
          阴极连续工作时长:>100H
         涂层沉积效率:>100μm/30min
        三级电子枪直式结构:适配蒸发、沉积、加热
         温度:>3500℃
         电子束分束频率:1200Hz
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