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dongzhuo1994新虫 (小有名气)
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[求助]
PtTe2薄膜生长求助
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使用碲化的方法生长大面积PtTe2材料，利用磁控溅射蒸镀4nm Pt金属，生长条件按照文献的450℃生长1小时，Ar和H2的流量分别为60sccm和10sccm 生长出来的PtTe2薄膜表面有很多小黑点（如图所示），这个是什么原因导致的，有什么方法可以解决 之前按这个条件生长都是没问题的，现在出现这个情况了，求助 |
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dongzhuo1994
新虫 (小有名气)
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- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
2楼2025-06-09 15:35:57