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dongzhuo1994

新虫 (小有名气)

[求助] PtTe2薄膜生长求助

使用碲化的方法生长大面积PtTe2材料,利用磁控溅射蒸镀4nm Pt金属,生长条件按照文献的450℃生长1小时,Ar和H2的流量分别为60sccm和10sccm
生长出来的PtTe2薄膜表面有很多小黑点(如图所示),这个是什么原因导致的,有什么方法可以解决
之前按这个条件生长都是没问题的,现在出现这个情况了,求助
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dongzhuo1994

新虫 (小有名气)

2楼2025-06-09 15:35:57
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