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PLD生长的氮化铝非晶层的绝缘性不足怎么办
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求助，使用PLD在室温高真空（10-7mbar）STO001衬底上生长的氮化铝非晶层绝缘性极差，生长出来的绝缘层是黑色的镜面反光的，通过后退火处理（600摄氏度 5小时）也无法完全绝缘，老师说正常的氮化铝层应该是透明的，我的这些步骤里面哪里可能导致这些问题的产生？ 发自小木虫手机客户端 |
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