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PLD生长的氮化铝非晶层的绝缘性不足怎么办
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求助,使用PLD在室温高真空(10-7mbar)STO001衬底上生长的氮化铝非晶层绝缘性极差,生长出来的绝缘层是黑色的镜面反光的,通过后退火处理(600摄氏度 5小时)也无法完全绝缘,老师说正常的氮化铝层应该是透明的,我的这些步骤里面哪里可能导致这些问题的产生? 发自小木虫手机客户端 |
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