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分辨率: 高真空模式:30kV下二次电子分辨率约3.0纳米 低真空模式:30kV下二次电子分辨率约3.0纳米 环境SEM模式(ESEM):30kV下分辨率约3.0纳米 加速电压:200V 至 30kV 可调 电子束电流:最大可达2微安,连续可调 探测器类型: 二次电子探测器(SED) 低真空二次电子探测器(LFD) 气体二次电子探测器(GSED) 背散射电子探测器(BSE) 可选气体分析背散射探测器 真空系统: 高真空:小于6×10⁻⁴帕 低真空:10至130帕 ESEM环境真空:10至2600帕 样品台: 具有电动X、Y、Z轴移动 倾斜范围 -15°至 +75°(手动) 可360度连续旋转 重复定位精度约2微米 图像显示:19英寸LCD显示器,支持单帧和四象限图像显示 控制系统:基于32位Windows XP界面,支持图像处理和远程控制 |
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