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分辨率： 高真空模式：30kV下二次电子分辨率约3.0纳米 低真空模式：30kV下二次电子分辨率约3.0纳米 环境SEM模式（ESEM）：30kV下分辨率约3.0纳米 加速电压：200V 至 30kV 可调 电子束电流：最大可达2微安，连续可调 探测器类型： 二次电子探测器（SED） 低真空二次电子探测器（LFD） 气体二次电子探测器（GSED） 背散射电子探测器（BSE） 可选气体分析背散射探测器 真空系统： 高真空：小于6×10⁻⁴帕 低真空：10至130帕 ESEM环境真空：10至2600帕 样品台： 具有电动X、Y、Z轴移动 倾斜范围 -15°至 +75°（手动） 可360度连续旋转 重复定位精度约2微米 图像显示：19英寸LCD显示器，支持单帧和四象限图像显示 控制系统：基于32位Windows XP界面，支持图像处理和远程控制 |
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