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wwesun2000
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内容
分辨率:
高真空模式:30kV下二次电子分辨率约3.0纳米
低真空模式:30kV下二次电子分辨率约3.0纳米
环境SEM模式(ESEM):30kV下分辨率约3.0纳米
加速电压:200V 至 30kV 可调
电子束电流:最大可达2微安,连续可调
探测器类型:
二次电子探测器(SED)
低真空二次电子探测器(LFD)
气体二次电子探测器(GSED)
背散射电子探测器(BSE)
可选气体分析背散射探测器
真空系统:
高真空:小于6×10⁻⁴帕
低真空:10至130帕
ESEM环境真空:10至2600帕
样品台:
具有电动X、Y、Z轴移动
倾斜范围 -15°至 +75°(手动)
可360度连续旋转
重复定位精度约2微米
图像显示:19英寸LCD显示器,支持单帧和四象限图像显示
控制系统:基于32位Windows XP界面,支持图像处理和远程控制
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