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Al/Ni纳米多层膜的制备和大面积量产
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用双靶磁控溅射机制备Al/Ni纳米多层膜，基板用580mm*140mm不锈钢，表面机械抛光处理，基板清洗后安装到辊筒上，一个辊筒安装9块基板，铝靶和镍靶垂直安装于辊筒两侧，辊筒1圈/分钟旋转，同时打开铝靶和镍靶溅射，控制铝层和镍层的厚度分别为50nm和30nm，总厚度沉积到20um左右时，薄膜出现脱落，和燃烧现象，如何解决这个问题？    @dut_ameng 发自小木虫手机客户端 |
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