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csu小彭

银虫 (初入文坛)

[求助] TEM氧化膜样品制备 已有2人参与

求助各位大神,我的样品氧化后想用TEM观察氧化截面的氧化膜,除了FIB(太贵了不让做...)之外还有什么制样方法吗?期待各位的回答!
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

引用回帖:
4楼: Originally posted by csu小彭 at 2025-03-26 19:58:40
截面一磨,氧化膜不就断了嘛...

先线切割出截面对粘在两片硅片上然后磨啊,直接磨肯定不行
5楼2025-03-27 03:45:56
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
FIB是最容易的办法,其他的可以自己手磨然后离子减薄,难度很大很看手法的
2楼2025-03-26 02:31:30
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Fanjun-

金虫 (小有名气)

3楼2025-03-26 13:18:20
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csu小彭

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2025-03-26 02:31:30
FIB是最容易的办法,其他的可以自己手磨然后离子减薄,难度很大很看手法的

截面一磨,氧化膜不就断了嘛
4楼2025-03-26 19:58:40
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