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键德测试测量|如何挑选适合的国产探针台？
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探针台，作为一种专用的测试设备，主要用于对未切割晶圆上的器件进行特性或故障检测。它广泛应用于集成电路和分立器件领域，对于确保产品质量和可靠性具有举足轻重的地位。不过在挑选适合的国产探针台时，需要考虑多个因素以确保所选设备能够满足测试需求并提高测试效率，下面键德测试测量小编就为大家详细介绍下。 如何挑选适合你的国产探针台? 一、明确测试需求 1、晶圆或器件尺寸：确定需要测试的晶圆或器件的最大尺寸，以及是否需要测试破片或单颗芯片，同时明确最小的单颗芯片尺寸。 2、测试精度要求：了解所需的探针台机械精度，包括X/Y轴的移动行程、移动分辨率、精度和重复性。这些参数将直接影响测试的准确性和可靠性。 3、电极尺寸和类型：明确点测样品的电极尺寸，例如是100μm×100μm或60μm×60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路。 4、探针数量：确定是否需要多个探针同时点测，以及是否会用到探针卡测试。 二、考虑显微镜和光学需求 1、显微镜分辨率：选择具有适当分辨率的光学显微镜，以满足对测试样品的精细观察需求。 2、特殊光学需求：如果需要进行LC液晶热点侦测等特殊测试，需要添加偏光片等光学元件。 三、考虑电气测试需求 1、电流要求：了解探针点测时对电流的要求，例如是否能够达到100fA或以下。 2、低电容要求：确定是否需要低电容测试，以及电容要求是否能够达到0.1pF或更低。 3、射频需求：如果需要进行射频测试，需要选择具有射频测试功能的探针台。 四、考虑测试环境需求 1、温度控制：确定测试环境是否需要加热或降温，以及是否需要密闭腔体来保持测试环境的稳定性。 2、防震需求：根据测试精度的要求，考虑是否需要防震桌来减少外界振动对测试的影响。 五、考虑其他因素 1、chuck的漏电要求：了解所需的探针台对chuck的漏电要求，以及是否需要添加低阻抗chuck来提高测试精度。 2、品牌和服务：选择具有良好口碑和售后服务的品牌，以确保设备的可靠性和长期稳定运行。同时，考虑品牌是否提供定制化服务，以满足特定的测试需求。 综上所述，挑选适合的国产探针台需要综合考虑测试需求、显微镜和光学需求、电气测试需求、测试环境需求以及其他因素。通过仔细评估这些因素，可以选择出最适合自己测试需求的探针台设备。 |
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