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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 求助碳纳米管工艺
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90人在征途

金虫 (正式写手)

[求助] 求助碳纳米管工艺 已有1人参与

请问碳纳米管在凹凸不平的衬底上大面积排布，如何保证晶体管的良率？
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生活需要脚踏实地
1楼 2025-03-23 09:11:38
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让我～想想

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
90人在征途: 金币+50, ★★★很有帮助 2025-03-23 09:14:45
cmp处理到起伏3微米以内应该可以保证
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90人在征途
3楼2025-03-23 09:14:07
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让我～想想

铁虫 (小有名气)
可以考虑使用cmp工艺前期处理
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2楼2025-03-23 09:12:27
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90人在征途

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 让我～想想 at 2025-03-23 03:14:07
cmp处理到起伏3微米以内应该可以保证

感谢
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生活需要脚踏实地
4楼2025-03-23 09:24:26
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