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【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 basanwuyu 的 5 个金币

basanwuyu

银虫 (小有名气)

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[交流] 【求助】[求助]多晶硅片长时间退火变形问题

请问各位虫友是否研究过：做电池那么薄的多晶硅片如：200um厚片子在长时间退火下关于变形的研究么？谢谢！（退火是为了消除晶界让晶粒再次再大。）
1.一定会变形？？
2.多高温度，多长时间，多大面积的片子，？？？

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谋事在人，成事在人；为梦想奋斗，永不停息！

1楼 2009-11-03 19:50:04

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xiaoguiyun

金虫 (小有名气)

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专业: 金属材料的凝固与结晶学

★ ★ ★
basanwuyu(金币+3,VIP+0):感谢xiaoguiyun 的回复，我是做冶金法多晶硅，现在这个技术正处于攻关阶段，我们这个多晶硅由于长晶技术不成熟，是需要退火以让其再结晶，这当然是长时间退火，但是我们是不希望变形情况出现，要不然就做不了电池了，呵呵，我想问清楚这个问题，然后以便宜确定是应该片子退火还是锭子退火，呵呵，谢谢！ 11-4 20:23

老兄的这个研究是MIT 发表的一篇文章所研究的内容。
如果是金属的话，这个方法可能会有效，但是这是硅材料，条件非常苛刻。
看你的退火温度和是否有温度梯度。控制要求非常精准。