| 查看: 281 | 回复: 0 | |||
[交流]
键德测试测量|真空高低温探针台怎么用？
|
|
真空高低温探针台是半导体测试领域的关键设备，其使用方法主要包括很多步骤，下面键德测试测量小编就来为大家介绍下。 一、准备工作 检查设备：确保真空高低温探针台的电源和气源连接正常，设备表面干净整洁无灰尘。同时，检查探针、电缆等配件是否完好无损。 佩戴防护用品：为了保护操作人员的安全，需要佩戴相应的手套、防静电手环等防护用品。 二、样品放置与定位 样品载入：将待测样品载入真空卡盘，并通过真空阀控制开关确保样品安全牢固地吸附在卡盘上。 样品定位：使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品，然后将样品待测试点移动至显微镜下。此时，可以先使用低倍物镜确定样品的大致位置，然后切换为高倍物镜进行精确定位。 三、探针调整与测试 探针安装：根据测试需求，选择合适的探针并安装在探针座上。 探针移动：使用探针座X、Y、Z三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。在移动过程中要小心谨慎，防止探针误伤样品。当探针尖端悬挂在被测点上方时，可以先用Y轴旋钮稍微后退一点，然后用Z轴旋钮下针。 接触测试：确保针尖与被测点接触良好后，可以通过连接测试设备开始测试。测试过程中要密切关注设备的运行状态和测试结果，确保测试数据的准确性和可靠性。 四、测试结束与清理 测试结束：完成测试后，将探针台拉杆抬起(如果设备具有此功能)，将探针回到初始化位置，防止错误操作。 设备清理：关闭真空泵、光源、加热和制冷系统等设备的开关，断开电源和气源连接。 五、高低温环境设置(针对高低温探针台特有功能) 温度设置：根据测试需求，设置所需的温度范围。 启动加热/制冷系统：启动加热系统或制冷系统，将样品加热或冷却到所需的温度。 温度稳定：等待温度稳定后，再进行测试操作。 需要注意的是，上述步骤为真空高低温探针台的一般使用方法，具体操作步骤可能因设备和测试需求的不同而有所差异。因此，在实际操作中，应参考设备说明书和测试方案进行具体操作。 |
回复此楼» 猜你喜欢
【26年入学】红外半导体/电子信息/嵌入式视觉/诚招博士生 光电教育部重点实验室
已经有0人回复
-
CSC难上岸，25年东京大学，早稻田，京都大学多Lab大量招募日本全奖博士生！
已经有2人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有86人回复
-
硅溶胶和硅酸钠水玻璃干燥后的结构为什么出现明显差异？
已经有6人回复
-
5--羟甲基糠醛电催化氧化性能测试
已经有0人回复
-
请高手指点:用orgin怎样绘制随x轴渐变色，多种颜色波长对应x轴坐标。
已经有0人回复
-
西南地区哪里可以测试LED样品的发光性能？
已经有0人回复
