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apolloljy

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引用回帖:

Originally posted by 救救我 at 2009-11-02 20:07:45:
中科院微电子加工所
陈应钦研究员
上次在湘潭开会，有听他的专题报告，还不错

是陈宝钦研究员吧？据我们实验室所知，中科院微电子所可以做电子束加工，而且目前做的水平在国内算是一流的

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21楼2010-05-28 14:18:29

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good256

铜虫 (正式写手)

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国内这方面的仪器设备太少了

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22楼2010-08-07 18:03:15

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jinjie_led

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我也在做这方面，大家研究研究---------------------

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23楼2011-04-13 15:18:34

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txglove

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其实苏州纳米所不错，坚持服务理念，好多院校和单位都在那边加工

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分享知识，改变命运

24楼2011-07-14 09:24:09

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hui0087

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LZ提供的链接貌似下不了，能不能传一份到邮箱里，谢谢！
luxurykent@163.com

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25楼2012-04-09 19:36:59

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做回菜鸟

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为什么您给的链接http://d.namipan.com/d/414f329e2 ... 4ad565416925eff2300
我点开之后地址就变成“中国电骡”了……呜呜

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Nofearness，exceptforfearnessitself

26楼2012-04-09 20:36:41

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quanten

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这些对电子束光刻没有什么难度，难的是一般用不起，仪器维护费用太高，一台进口的要三百万欧元，要有配套超净间，要有配套的实验员，费用上亿，加上建筑设施要几个亿，一般的高校和研究所根本搞不起，即使有因为实验平台的制约效率低，按小时计算一小时费用上千，一个样品一般要几个小时

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27楼2012-04-21 19:15:22

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郑成志

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支持一下。

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28楼2014-02-27 20:50:04

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120100138

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我们实验室用的是理化公司代理的NPGS纳米图形电子束曝光系统/电子束光刻，

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好好学习天天向上

29楼2014-08-25 14:02:51

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yuanxin5254

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国内能买得起电子束光刻机的就没几个，一般光刻都是接触式的，好点的是投影式的，光源一般都是汞灯吧

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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。

30楼2014-11-25 19:14:56

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