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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【资源】电子束光刻技术
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apolloljy

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by 救救我 at 2009-11-02 20:07:45:
中科院微电子加工所
陈应钦研究员
上次在湘潭开会，有听他的专题报告，还不错

是陈宝钦研究员吧？据我们实验室所知，中科院微电子所可以做电子束加工，而且目前做的水平在国内算是一流的
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21楼2010-05-28 14:18:29
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good256

铜虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
国内这方面的仪器设备太少了
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22楼2010-08-07 18:03:15
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jinjie_led

金虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也在做这方面，大家研究研究---------------------
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23楼2011-04-13 15:18:34
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txglove

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
其实苏州纳米所不错，坚持服务理念，好多院校和单位都在那边加工
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分享知识，改变命运
24楼2011-07-14 09:24:09
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hui0087

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
LZ提供的链接貌似下不了，能不能传一份到邮箱里，谢谢！
luxurykent@163.com
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25楼2012-04-09 19:36:59
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做回菜鸟

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么您给的链接http://d.namipan.com/d/414f329e2 ... 4ad565416925eff2300
我点开之后地址就变成“中国电骡”了……呜呜
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Nofearness，exceptforfearnessitself
26楼2012-04-09 20:36:41
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这些对电子束光刻没有什么难度，难的是一般用不起，仪器维护费用太高，一台进口的要三百万欧元，要有配套超净间，要有配套的实验员，费用上亿，加上建筑设施要几个亿，一般的高校和研究所根本搞不起，即使有因为实验平台的制约效率低，按小时计算一小时费用上千，一个样品一般要几个小时
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27楼2012-04-21 19:15:22
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郑成志

金虫 (正式写手)
支持一下。
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28楼2014-02-27 20:50:04
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120100138

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们实验室用的是理化公司代理的NPGS纳米图形电子束曝光系统/电子束光刻，
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好好学习天天向上
29楼2014-08-25 14:02:51
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
国内能买得起电子束光刻机的就没几个，一般光刻都是接触式的，好点的是投影式的，光源一般都是汞灯吧
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
30楼2014-11-25 19:14:56
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