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leegane

金虫 (正式写手)

[交流] 【资源】电子束光刻技术已有15人参与

最近看文献经常看到电子束光刻技术的应用,对这方面比较感兴趣,然后搜了一些相关的PPT,不知道国内有这方面的大牛没。





http://d.namipan.com/d/414f329e2326c90ea2d4f7844e8a44ad565416925eff2300
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这些对电子束光刻没有什么难度,难的是一般用不起,仪器维护费用太高,一台进口的要三百万欧元,要有配套超净间,要有配套的实验员,费用上亿,加上建筑设施要几个亿,一般的高校和研究所根本搞不起,即使有因为实验平台的制约效率低,按小时计算一小时费用上千,一个样品一般要几个小时
27楼2012-04-21 19:15:22
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caowugui

捐助贵宾 (小有名气)

0.5

你这些图片很漂亮啊,国内是不是受限制于仪器呢?
2楼2009-11-02 14:06:25
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leegane

金虫 (正式写手)

估计是这样,差了一下,基本都是国外的人在做
3楼2009-11-02 16:38:02
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xiamg

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
国内没仪器,在国外作过的人回国后作不成了。
4楼2009-11-02 17:26:05
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