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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 前沿热点 » 【求助】铁电厚膜（1-5微米）如何防止微裂纹？
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mse507

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】铁电厚膜（1-5微米）如何防止微裂纹？

如题，望高手们不吝赐教。
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1楼 2009-11-01 13:13:57
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yjyang07

木虫 (著名写手)
★
mse507(金币+1,VIP+0): 11-1 15:19
这与你的制备工艺相关
使用spincoating方法能够做很好的厚膜
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天行健，君子以自强不息～～～～～
2楼2009-11-01 14:26:59
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mse507

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by yjyang07 at 2009-11-1 14:26:
这与你的制备工艺相关
使用spincoating方法能够做很好的厚膜

我就是用spincoating做厚膜，不过效率太低了，每层厚度一超过100纳米，微裂纹就出来了。不知道你是否有具体的解决办法。
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3楼2009-11-01 15:18:35
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失落的候鸟

金虫 (著名写手)
★
mse507(金币+1,VIP+0):Thanks 11-3 08:18
加一下pvp试试啊
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4楼2009-11-01 23:43:16
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covy123

金虫 (小有名气)
★
mse507(金币+1,VIP+0):Thanks 11-3 08:18
调节涂膜液的粘度，改进配方
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很多事情我们平时不关注，临时再哭天喊地喊万岁，一点用都没有。
5楼2009-11-02 22:04:21
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mse507

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by covy123 at 2009-11-2 22:04:
调节涂膜液的粘度，改进配方

除了黏度还有更好的建议吗?
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6楼2009-11-03 08:19:22
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huweiawp

至尊木虫 (著名写手)
我也在寻求一个答案，我的加粉试验更容易出裂痕
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知之为知之，不知为不知，是知也。
7楼2009-11-03 08:42:52
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solgeltech

银虫 (小有名气)
★ ★
mse507(金币+2,VIP+0):Thanks 11-3 11:05
微裂纹的形成和底电极材料有关。氧化物过渡层或电极薄膜（如LaNiO3）可以缓解微裂纹的形成。
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镍酸镧氧化物 铁电薄膜溶液 铁酸铋 http://yuantek.admindiy.cn ｗｗｗ.ｙｕａｎｔｅｋｓｏｌｇｅｌ.ｃｏｍ
8楼2009-11-03 09:31:41
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wxkqq2008

金虫 (小有名气)
★ ★
mse507(金币+2,VIP+0): 11-3 21:59
引用回帖:
Originally posted by mse507 at 2009-11-3 08:19:

除了黏度还有更好的建议吗?

控制升温速率也可以有效防止微裂纹产生
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9楼2009-11-03 21:41:27
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kmwang

新虫 (小有名气)
★
mse507(金币+1,VIP+0): 11-4 12:14
如果基片没问题的话，可以适当提高一下烘烤温度，把每层膜的厚度降一降
赞一下(1人) 回复此楼
10楼2009-11-04 10:52:43
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