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[求助] 磁控溅射技术制备含氢DLC薄膜

磁控溅射制备含氢DLC薄膜，26%的氢含量与29%的氢含量，制备参数有什么样的差别？通入甲烷的流量分别是多少
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1楼 2025-02-13 22:37:55

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