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新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射技术制备含氢DLC薄膜

磁控溅射制备含氢DLC薄膜,26%的氢含量与29%的氢含量,制备参数有什么样的差别?通入甲烷的流量分别是多少
@fzm1108 @xiaofan700 @小_包子 发自小木虫手机客户端
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