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氧化铟镓锌薄膜(IGZO),In:Ga:Zn原子比1:3:6
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氧化铟镓锌薄膜(IGZO),In:Ga:Zn原子比1:3:6
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工业主流的IGZO薄膜原子比为1:1:1,作为它的刻蚀阻挡层的IGZO原子比为1:3:6。有介绍IGZO1:3:6的文献吗?哪位大佬见过
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