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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射系统靶-基距怎么选？
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射系统靶-基距怎么选？

大家好，想问下，磁控溅射系统，靶-基距离的选择一般有什么原则？有没有什么参考资料？
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1楼 2025-01-17 14:28:23
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caiyazhi

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
根据涂层要求来的，一般中频磁控是80左右，某些特殊的有50也有100的
发自小木虫手机客户端
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浮躁的社会更需要冷静
2楼2025-01-18 09:26:48
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