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钛膜储氢
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| 使用磁控溅射制备纯钛膜后为什么吸不了氢,吸氢量很低,几乎不吸氢,使用工艺和文献报道的也一致,钛膜从取出到放入真空腔室间隔时间不到20min? |
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