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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 功能高分子 » 想跟各位行家交流一下底层抗反射涂层的发展现状，不知道帖子应该发到哪里。。。
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lwz403

木虫 (著名写手)

[求助] 想跟各位行家交流一下底层抗反射涂层的发展现状，不知道帖子应该发到哪里。。。

最近在写一篇关于光刻胶底层抗反射涂层的综述，发现从网上能搜到的信息好少啊，想了解一下国外都有哪些公司垄断了这块，这两年咱们国内又有哪些厂家在这方面努力中。希望各位懂行的大哥能给点指示，感谢
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1楼 2024-12-21 19:22:42
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丿蜗牛丨

金虫 (小有名气)
BARC涂层有I线胶365nm的，有KrF/ArF胶用的,搜SPIE一大把，国外有JSR/日产化学/三星/布鲁尔科学，国内有恒坤/国科天冀/苏州润邦
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无
2楼2024-12-30 08:59:22
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zhaowenhuang

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 丿蜗牛丨 at 2024-12-30 08:59:22
BARC涂层有I线胶365nm的，有KrF/ArF胶用的,搜SPIE一大把，国外有JSR/日产化学/三星/布鲁尔科学，国内有恒坤/国科天冀/苏州润邦

请问365 BARC搭配高分辨I线正胶的话最常用是哪家啥型号呢
发自小木虫手机客户端
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3楼2025-04-19 09:10:39
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