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葱头mm

铁虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于二氧化硅包被

一般做二氧化硅包被都是包多厚呢?

我想包个10纳米以内,有文献吗?能否提供一下下O(∩_∩)O~
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gzq701

新虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
不是做SiO2的,
路过帮忙顶贴
我是葱头GG
我思故我在, 我在故我思。
2楼2009-10-29 16:12:53
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cncheung

金虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
骑着蜗牛追火箭(金币+1,VIP+0):谢谢 10-29 18:11
10nm很难的,也就可以想想,看看李亚栋的文章吧,他包SiO2很成熟了!
3楼2009-10-29 17:05:32
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hanrch

木虫 (小有名气)

Dr.

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
骑着蜗牛追火箭(金币+1,VIP+0):谢谢 10-29 18:11
做silica coating一般可粗分为stober方法和(反相)微乳法。要是做coating的厚度调控,一般是直接调节试验条件,尤其是硅源的量。这一块你可以参看,Mingyuan Gao, Jackie Y. Ying,Thomas Nann等人的工作。
4楼2009-10-29 17:23:03
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葱头mm

铁虫 (小有名气)

那现在最硅壳厚度一般是多少呢?
5楼2009-10-29 17:53:06
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葱头mm

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by cncheung at 2009-10-29 17:05:
10nm很难的,也就可以想想,看看李亚栋的文章吧,他包SiO2很成熟了!

我查了一下,他没有包硅的论文呀
6楼2009-10-29 18:50:12
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jy1012

木虫 (正式写手)

我看过一篇文献,一般要保证包覆完全,需要包2~3次
7楼2009-10-30 11:32:12
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znfe

金虫 (正式写手)

我就做过10nm之内的氧化硅包覆,感觉很容易,都不好意思写文章。
8楼2009-10-30 19:59:02
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