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哪位帮找一下关于Si基， Al/C复合薄膜的文献？
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| 哪位帮找一下关于以Si为基体， Al/C复合薄膜的文献，我在scidirect里面 输入检索式： Al film AND DLC film AND Si substrate ，找到的文献并不是S基体， Al/C复合薄膜 方面的文献。求高手指点 |
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