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键德分享|选择探针台要了解哪些注意事项？
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随着半导体市场的逐步开放和增长,作为半导体检测的必备仪器——探针台的市场也在逐年增长和扩大中。它用于固定和支撑测试探针，确保其稳定地接触到芯片上的测试点。那么选择探针台要了解哪些注意事项呢?下面就跟随键德测试测量小编一起来看看吧! 选择探针台要了解如下注意事项： 1、您需求的最大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,最小的单颗芯片尺寸? 2、您需求的探针台机械精度要求多高? 3、您需求的点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路? 4、您需求的最多需要几个探针同时去点测?是否会用到探针卡测试? 5、您需求的光学显微镜的最小分辨率需要用到多少? 6、您需求的显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测? 7、您需求的探针点测时,对电流的要求能否达到100fa或者以下?低电容要求能否要做到0.1pf?是否有射频需求? 8、您需求的测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体? 9、您需求的探针台对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck? 10、您是否需要防震桌?若添置防震桌,是否有压缩空气? 以上关于选择探针台要了解哪些注意事项的相关内容就为大家分享到这里，希望这篇文章对大家有所帮助。 |
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