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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » PMMA转移石墨烯残胶问题
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Icymi

新虫 (初入文坛)

[求助] PMMA转移石墨烯残胶问题 已有2人参与

最近在做使用pmma转移cu上的石墨烯到硅衬底上，但是转移后完成使用丙酮去胶后，发现pmma的残胶很多，希望各位能提一些建议。
下面是简要的转移过程：
1. PMMA A4 以 3000 rpm 的速度旋涂在铜箔上。
2. 在热板上以 80° 烘烤 5 分钟。
3. 用 rie 的 AR 蚀刻的铜箔背面
4.将铜箔在 1 M 的 fecl3 溶液中蚀刻 1 小时。
5. 用去离子水洗涤 3 次
6. 转移到样品中，静置过夜，之后在 70° 下烘烤半小时
7. 在丙酮中浸泡 3 次，每次半小时
8. 浸泡 IPA 15 分钟
尝试过加热丙酮到40°浸泡2h，但是残胶仍然很多。
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1楼 2024-10-23 11:40:12
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Icymi

新虫 (初入文坛)
发自小木虫IOS客户端
2楼2024-10-23 11:56:19
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Icymi

新虫 (初入文坛)
发自小木虫IOS客户端
3楼2024-10-23 12:05:47
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GNEMS

新虫 (初入文坛)
有照片吗
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4楼2024-10-30 13:20:00
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YONO Jack

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

PMMA浓度是百分多少
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5楼2024-11-01 16:02:41
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younghui

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

残胶一般可以通过退火工艺去除
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6楼2024-11-21 15:45:22
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