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PMMA转移石墨烯残胶问题 已有2人参与
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最近在做使用pmma转移cu上的石墨烯到硅衬底上，但是转移后完成使用丙酮去胶后，发现pmma的残胶很多，希望各位能提一些建议。 下面是简要的转移过程： 1. PMMA A4 以 3000 rpm 的速度旋涂在铜箔上。 2. 在热板上以 80° 烘烤 5 分钟。 3. 用 rie 的 AR 蚀刻的铜箔背面 4.将铜箔在 1 M 的 fecl3 溶液中蚀刻 1 小时。 5. 用去离子水洗涤 3 次 6. 转移到样品中，静置过夜，之后在 70° 下烘烤半小时 7. 在丙酮中浸泡 3 次，每次半小时 8. 浸泡 IPA 15 分钟 尝试过加热丙酮到40°浸泡2h，但是残胶仍然很多。 |
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