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键德分享|探针台按实现目标功能不同怎么划分？
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探针台属于整个测试系统的基础，没有探针台，就相当于医生没有了手术台，在普通的病床上给病人做手术，将极大地增加手术风险。那么探针台按实现目标功能不同怎么划分呢？下面键德测试测量小编就为大家详细介绍下。 探针台可按实现目标功能不同划分成以下三部分： (1)显微镜。没有该配置，所有精密操作将无从谈起。目前行业内最常见的配置有三种：体视显微镜、金相显微镜、单筒显微镜，前两种用得最多。 (2)承载平台。该部分是构成探针台骨架，可分为显微镜支架、定位器平台和样品台(载物台)。不同的显微镜，显微镜的支架会有所不同，通常有立柱安装和龙门安装两种配置。定位器平台用于放置定位器(探针座)、形状和尺寸根据测试应用不同会有不同的设计形式。样品台(载物台)用于承载待测样品，通常根据晶圆尺寸设计，常用的尺寸从2～12英寸。除了承载样品的功能，样品台还可根据测量需求，设计为带测量通路和带精密控温的形式。 (3)精密移动组件。以上承载平台都配套了相应的移动定位功能，方便用户对显微镜、待测样品及定位器进行精密的移动。通常有X-Y-Z-R-T这些方向移动功能。 以上关于探针台可按实现目标功能的划分就为大家分享到这里，随着半导体技术的不断发展和市场需求的增长，探针台也在不断进步和创新，朝着更高程度的自动化、智能化、多功能化、高精度和高灵敏度以及更好的环境适应性方向发展。 |
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