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245796795铜虫 (小有名气)
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[交流]
光敏树脂中分子量和分子量分布影响
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各位前辈好，小虫想请教下。 在光敏树脂成分中，所采用的主体树脂的分子量和分子量分布对光敏树脂的整体性能有哪些影响？比如分子量过大过小以及分子量分布宽窄？ 1:主体树脂的分子量大小影响着整体光敏树脂的黏性和流动性，分子量越大，树脂的粘度越高，分子间相互作用力较强，使得树脂流动性降低。 2:分子量和分子量分布都影响光刻图案的分辨率和形状。过高或过低的分子量都会影响光敏树脂的性能。分子量分布过宽会是光敏树脂光刻分辨率和精度变差？ 3:分子量大小对光敏树脂的机械性能有着较大影响。 目前我自己归纳了几点不知道对错，还请各位前辈指证。如果有文章或书本出处恳请让小虫学习下。 发自小木虫IOS客户端 |
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