| 查看: 822 | 回复: 0 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者577610822将赠送您 30 个金币 | ||
[求助]
原子层沉积使用乙醇铌前驱体沉积氧化铌薄膜的一些问题
|
||
| 有虫友用过乙醇铌原子层沉积过氧化铌薄膜吗，我用的鼓泡瓶原加热190摄氏度连续模式出源0.5s感觉没什么脉冲，然后换鼓泡模式。好像比之前脉冲明显一点了。反应温度250摄氏度，氧等离子做氧源，然后设备是科民电子peald-200r，衬底是18*18mm的氧化硅片，沉积出来的薄膜周围有一圈是白色的，有没有虫友知道这是怎么回事呀。 |
回复此楼» 猜你喜欢
Inorganics-Inorganic Photocatalysts for Environmental Applications特刊征稿
已经有0人回复
-
高温原位观察铸铁的凝固过程
已经有0人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有90人回复
-
利用三维重构法对铁素体/马氏体双相钢内部微观结构的拓扑研究
已经有0人回复
-
高温原位观察多边形铁素体的相变
已经有0人回复
-
铝含量对铁素体耐热不锈钢在凝固过程中δ→γ 相变及M23C6相析出行为的影响
已经有0人回复
-
利用全自动逐层切片成像系统对铝镧合金进行分析
已经有0人回复
-
高温原位观察高温合金的凝固枝晶生长过程
已经有0人回复