| 查看: 591 | 回复: 0 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者577610822将赠送您 30 个金币 | ||
[求助]
原子层沉积使用乙醇铌前驱体沉积氧化铌薄膜的一些问题
|
||
| 有虫友用过乙醇铌原子层沉积过氧化铌薄膜吗，我用的鼓泡瓶原加热190摄氏度连续模式出源0.5s感觉没什么脉冲，然后换鼓泡模式。好像比之前脉冲明显一点了。反应温度250摄氏度，氧等离子做氧源，然后设备是科民电子peald-200r，衬底是18*18mm的氧化硅片，沉积出来的薄膜周围有一圈是白色的，有没有虫友知道这是怎么回事呀。 |
回复此楼» 猜你喜欢
西安国家级人才团队，招收资源与环境专业硕士调剂
已经有0人回复
-
接收材料化工机械研究生调剂
已经有1人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有265人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院“03高性能轻质合金及新能源材料”学硕与专硕有缺额
已经有0人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院“03高性能轻质合金及新能源材料”学硕与专硕有缺额
已经有0人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院“03高性能轻质合金及新能源材料”学硕与专硕有缺额
已经有0人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院“03高性能轻质合金及新能源材料”学硕与专硕有缺额
已经有0人回复
-
太原科技大学材料科学与工程学院“03高性能轻质合金及新能源材料”学硕与专硕有缺额
已经有0人回复
