| 查看: 798 | 回复: 0 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题,作者577610822将赠送您 30 个金币 | ||
[求助]
原子层沉积使用乙醇铌前驱体沉积氧化铌薄膜的一些问题
|
||
| 有虫友用过乙醇铌原子层沉积过氧化铌薄膜吗,我用的鼓泡瓶原加热190摄氏度连续模式出源0.5s感觉没什么脉冲,然后换鼓泡模式。好像比之前脉冲明显一点了。反应温度250摄氏度,氧等离子做氧源,然后设备是科民电子peald-200r,衬底是18*18mm的氧化硅片,沉积出来的薄膜周围有一圈是白色的,有没有虫友知道这是怎么回事呀。 |
» 猜你喜欢
关于filecode
已经有7人回复
好奇怪的filecode
已经有7人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有298人回复
这样的filecode谁见过
已经有24人回复
2026国自然放榜时间
已经有9人回复
奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样
已经有12人回复
确定了,国自然21号放榜
已经有9人回复
分享一下我之前已中青C的计划书的filecode
已经有5人回复
多孔结构的镍基催化剂
已经有7人回复
今天放榜吗?
已经有17人回复
国家纳米科学中心孙向南课题组招收2027级硕士1名
已经有7人回复










回复此楼