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原子层沉积使用乙醇铌前驱体沉积氧化铌薄膜的一些问题
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| 有虫友用过乙醇铌原子层沉积过氧化铌薄膜吗，我用的鼓泡瓶原加热190摄氏度连续模式出源0.5s感觉没什么脉冲，然后换鼓泡模式。好像比之前脉冲明显一点了。反应温度250摄氏度，氧等离子做氧源，然后设备是科民电子peald-200r，衬底是18*18mm的氧化硅片，沉积出来的薄膜周围有一圈是白色的，有没有虫友知道这是怎么回事呀。 |
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