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hubuhurui

新虫 (初入文坛)

[交流] 薄膜 光刻 已有1人参与

求助各位大佬，我目前所做的是在蓝宝石上长了一层氧化镓薄膜，然后再通过光刻刻上叉指电极的图案，精度最小是5um，再蒸镀Au作电极。目前的问题是显影总是一半图案清晰一半模糊，其次是镀上Au之后用丙酮洗脱导致图案部分的电极也脱落。希望各位大佬指点指点，卡好久了

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1楼 2024-09-18 09:50:28
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winm4

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
薄膜粗糙，换溅射试试

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2楼2024-09-19 09:31:33
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hubuhurui

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by winm4 at 2024-09-19 09:31:33
薄膜粗糙，换溅射试试

薄膜我是使用PLD生长的，应该比磁控生长的薄膜更光滑一点吧
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3楼2024-11-18 20:09:40
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