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量子点发光二极管真空蒸镀求助
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近期实验室更换了一套真空蒸镀的设备,由原来进口设备换成了国产沈阳立宁真空蒸镀设备(蒸铝),从此无论怎么调控电极厚度,都只能达到基础效率,所有的优化和调控都得到的是一样的结果,都在较低的范围之内。目前优化过蒸镀电极的厚度、基板转速、真空度、手套箱气氛等等,都没有改善目前的状况。目前怀疑是沈阳立宁真空蒸镀设备的真空腔太短,由原来的缩短了一半,更大的铝蒸气热量破坏了量子点薄膜的内部结构。求助是否有大佬经历过类似情况,求助各位大佬帮忙解答一下疑惑。 发自小木虫IOS客户端 |
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luojian88
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2楼2024-09-10 16:49:02











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