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Cr蚀刻液
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咨询一下大家，电子束蒸发镀的40nmCr薄膜作为掩膜，经过ICP刻蚀后剩余的Cr如何更好的用腐蚀液蚀刻掉，尝试过硝酸铈铵和冰醋酸配合使用，但是蚀刻不掉，是配比要严格控制吗？有没有推荐其他的蚀刻液？还请做微加工工艺的同学老师给个意见，感谢！ 发自小木虫Android客户端 |
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