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| 【悬赏金币】回答本帖问题,作者SunKli将赠送您 100 个金币 | ||
[求助]
Cr蚀刻液
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咨询一下大家,电子束蒸发镀的40nmCr薄膜作为掩膜,经过ICP刻蚀后剩余的Cr如何更好的用腐蚀液蚀刻掉,尝试过硝酸铈铵和冰醋酸配合使用,但是蚀刻不掉,是配比要严格控制吗?有没有推荐其他的蚀刻液?还请做微加工工艺的同学老师给个意见,感谢! 发自小木虫Android客户端 |
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