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SunKli

新虫 (小有名气)

[求助] Cr蚀刻液

咨询一下大家,电子束蒸发镀的40nmCr薄膜作为掩膜,经过ICP刻蚀后剩余的Cr如何更好的用腐蚀液蚀刻掉,尝试过硝酸铈铵和冰醋酸配合使用,但是蚀刻不掉,是配比要严格控制吗?有没有推荐其他的蚀刻液?还请做微加工工艺的同学老师给个意见,感谢!

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