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求助，SiC高温退火保护C膜的颗粒影响程度已有1人参与
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小弟上手接触了碳膜溅射，但碳膜溅射出来的膜内颗粒总是比金属膜的多，颗粒看成分，也是C的成分，不知道颗粒对碳化硅高温退火过程中硅析出有没有什么影响 希望大佬能解答小弟的疑惑 发自小木虫Android客户端 |
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