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求助,SiC高温退火保护C膜的颗粒影响程度 已有1人参与
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小弟上手接触了碳膜溅射,但碳膜溅射出来的膜内颗粒总是比金属膜的多,颗粒看成分,也是C的成分,不知道颗粒对碳化硅高温退火过程中硅析出有没有什么影响 希望大佬能解答小弟的疑惑 发自小木虫Android客户端 |
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