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科研第一人

金虫 (小有名气)

金虫

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[求助] 金属氧化物薄膜空气退火和真空退火对表面粗糙度的影响已有1人参与

各位虫友大佬：
请教一个问题金属氧化物薄膜空气退火和真空退火两种处理方法对薄膜表面粗糙度会有影响吗，理论依据，感谢回复

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1楼 2024-06-01 18:33:58

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嘉仪通仪器

银虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

之前有学校用我们嘉仪通快速退火炉对钙钛矿太阳能电池中BaBiO3进行晶化退火
RTP：600℃，10min，O2气氛
在退火前后XRD图和SEM图对比，表明退火后BBO结晶了，且薄膜粒径从150nm增加到400nm。

快速升温的高温场能够促进原子热运动，促进原子重新排列，结晶度增大，晶粒尺寸增加
快速退火处理有助于消除薄膜表面的缺陷和杂质，使表面更加平整光滑。

可以参考下，真空环境到没有对比，退火是对表明粗糙度有影响的

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2楼2024-06-28 17:44:00

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