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sem和EPMA有什么区别

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1楼 2024-04-27 10:16:19
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EPMA和SEM的异同点

EPMA和SEM共同点：

均可以得到二次电子像(SEI)，背散射电子像(BSEI),用于寻找分析区域。

电子探针的束流(指打在样品表面的电流)要比扫描电镜大几个数量级，造成电子探针的空间分辨率差，二次电子和背散射电子分辨率差，如果要求不高电子探针可以当作扫描来用。

一般而言，电子探针的二次电子像分辨率为5~ 6 nm，低于扫描电镜的2 ~ 3 nm的二次电子像分辨率。

EPMA和SEM不同点：

1.EPMA 的WDS具有更低的检出限，可以分析痕量元素，且超轻元素(,B ~gF)定量分析准确度远高于SEM 上的 EDS.X射线波谱仪检测到的成分含量下限为0.01%，高于扫描电镜上所配置的能谱仪的检测下限0.1%一个数量级，且在分析中使用与材料基体成分相近的标准参考物质作为定量修正的基础，所以电子探针所使用的波谱仪的微区分析的定量分析能力远高于扫描电镜上使用的能谱仪。

扫描电镜和电子探针从原理上讲是一样的，但是扫描电镜主要是做形貌观察，电子探针主要是做微区成分，用WDS分析元素。扫描电镜也可做微区成分，不过一般都用EDS，虽然很快，但是精度差。电子探针的分析电流和分析元素范围都要比扫描电镜宽。

2.电子探针用的是波谱分析，扫描电镜用能谱分析。

电子探针用来做波谱成分分析是由于它的电子束要比一般扫描电镜稳定的多的缘故，通过提高硬体结构的强度和在镜筒高端使用离子泵，EPMA的真空可以达到E-007TORR，要比SEM的E-O05TORR强的多，因此电子束也稳定的多，而波谱分析需要极稳定的电子束，大而稳定的束流，所以一般的SEM 不配备波谱议。所以EPMA是较SEM高端的产品,但是使用范围要较SEM小。

EPMA的侧重点在成分，而非形貌观测。现在的EPMA为了方便，一般也配个能谱,能谱速度快,可以做一般的常量元素。

EPMA和SEM对比总结：

1. EPMA相对于SEM，(平台方面)：

（1）可以大束流，计数率与束流成正比；

（2）束流控制和稳定性更好；

（3）EPMA有光学显微镜控制样品高度。

2. EPMA(WDS)与EDS，(EPMA标配WDS，SEM选配EDS)：

（1）EPMA分辨率比EDS高一个数量级；

（2）EPMA的灵敏度优于EDS，测试微量元素时效果更好；

（3）EPMA检出限更低；

（4）EPMA是有标测试，精度高。

3. EPMA与SEM+WDS，(SEM选配WDS，与EPMA标配WDS)：

（1）WDS(SEM)是单通道，1个检测器配4个分光晶体，测试时旋转晶体。EPMA可以5个通道5个检测器同时测试，效率更高；

（2）单通道时，方位受限；

（3）由于SEM的小束流，灵敏度低，低含量元素测试受限；

（4）EPMA检测限更低；

（5）SEM+WDS低倍测试不能（最低40X左右），EPMA可分性区域更大（样品台扫描）。

4. SEM+EDS优势：

（1）更好的电子图像质量（二次电子分辨率、锐度方面等更好）；

（2）SEM+EDS更快速的半定量解析；

（3）分析过程更简单一些。
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22楼2024-04-27 13:05:37
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tzynew2楼
2024-04-27 10:17   回复  
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XG-WUST3楼
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Wally05114楼
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坩埚供应商6楼
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恕在下直言12楼
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Yong Y21楼
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爱一回伤一回23楼
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zzuzdd24楼
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gordon39926楼
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showhand827楼
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