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[交流]
【讨论】氢化非晶硅的物理化学性质
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本人现在接到老板的任务，研究氢化非晶硅薄膜，看了一些资料，现在想和大家聊聊关于它的物理化学性质： 1） 氢硅键对红外的吸收很强。用PECVD沉积可以有不同的化合物生成，即硅原子可以和一个两个三个氢原子相结合，但一氢是稳定的，多氢不是很稳定，对于器件来说生成一氢才有应用价值； 2） 氢化非晶硅的热光系数电阻很高。红外探测的以前用氧化矾，现在也有用非晶硅。 大侠们，小弟就说两条抛砖引玉了，要是大家有什么好的观点文章之类的东西可以和大侠们讨论，还有要是文章可以上传到这个邮箱asiliconh@163.com密码asilicon.拜托了，呵呵，我先提议个问题哈，氢化非晶硅是什么化合物呢，离子，分子？（.欢迎转帖！） [ Last edited by bhyangtze on 2009-10-22 at 11:27 ] |
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