耗材(Si/SOI/SiC/外延片等)、委托加工服务、单步制程开发、芯片开发
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jj503185037

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电子束光刻(EBL-Raith 150)

技术指标:
(1)        载片尺寸:8",6",4",小片
(2)        CD:10nm
(3)        低电压曝光及成像
应用领域:
(1)        光学:光子晶体、光波导、调制器、超表面等;
(2)        MEMS:纳米结构等
(3)        生物芯片等。

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zntx5043

新虫 (职业作家)

129楼2026-08-15 01:57:47
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jj503185037(金币+1): 谢谢参与
2楼2024-03-24 13:55:57
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jj503185037(金币+1): 谢谢参与
3楼2024-03-28 01:25:29
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jj503185037(金币+1): 谢谢参与
4楼2024-04-09 22:40:41
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