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【讨论】关于俄歇标定厚度
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| 对于衬底是375um的GaAs样品,外延膜是30个纳米左右 的单晶薄膜,用俄歇电子能谱标定厚度,精确性值得信赖么?溅射一个30nm 的薄膜需要多长时间,可以用断面直接做元素分布分析么?还有哪些比较好的办法标定厚度? |
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