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btvipvip

新虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】关于俄歇标定厚度

对于衬底是375um的GaAs样品,外延膜是30个纳米左右 的单晶薄膜,用俄歇电子能谱标定厚度,精确性值得信赖么?溅射一个30nm 的薄膜需要多长时间,可以用断面直接做元素分布分析么?还有哪些比较好的办法标定厚度?
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heyuhit

木虫 (著名写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
有FIB么?沉积一层Pt,切开看看
2楼2009-10-16 18:33:13
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btvipvip

新虫 (正式写手)

不好意思,FIB指什么?
3楼2009-10-16 20:17:42
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