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【讨论】关于俄歇标定厚度
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| 对于衬底是375um的GaAs样品，外延膜是30个纳米左右 的单晶薄膜，用俄歇电子能谱标定厚度，精确性值得信赖么？溅射一个30nm 的薄膜需要多长时间，可以用断面直接做元素分布分析么？还有哪些比较好的办法标定厚度？ |
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heyuhit
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