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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【讨论】俄歇标定厚度
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btvipvip

新虫 (正式写手)

[交流] 【讨论】俄歇标定厚度

对于衬底是375um的GaAs样品，外延膜是30个纳米左右 的单晶薄膜，用俄歇电子能谱标定厚度，精确性值得信赖么？溅射一个30nm 的薄膜需要多长时间，可以用断面直接做元素分布分析么？还有哪些比较好的办法标定厚度？
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1楼2009-10-16 17:03:34
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