| 查看: 611 | 回复: 3 | ||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 AFAGM 的 7 个金币 ，回帖就立即获得 1 个金币，每人有 1 次机会 | ||
[交流]
关于在PDMS上电子束光刻的问题
|
||
|
目前想直接在PDMS上进行电子束光刻图案 但在PDMS上甩了MMA，PMA和导电胶后，因为PDMS绝缘，即使涂了导电胶在SEM图像中完全对不上焦，曝光效果也很差(出现了线条弯曲和图像偏移)。 导电胶厚度从300nm到1，2微米效果都很差。 有前辈有相关工作的经历吗？求指导 |
回复此楼
简单回复
tzynew2楼
2024-01-14 14:08
回复
AFAGM(金币+1): 谢谢参与
k 发自小木虫Android客户端
xiejf3楼
2024-01-14 20:09
回复
AFAGM(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
2024-01-15 16:49
回复
AFAGM(金币+1): 谢谢参与
