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AFAGM

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 42
在线: 4.4小时
虫号: 34281669

[交流] 关于在PDMS上电子束光刻的问题

目前想直接在PDMS上进行电子束光刻图案
但在PDMS上甩了MMA，PMA和导电胶后，因为PDMS绝缘，即使涂了导电胶在SEM图像中完全对不上焦，曝光效果也很差(出现了线条弯曲和图像偏移)。
导电胶厚度从300nm到1，2微米效果都很差。
有前辈有相关工作的经历吗？求指导

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1楼 2024-01-14 14:00:59

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tzynew2楼

2024-01-14 14:08 回复

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xiejf3楼

2024-01-14 20:09 回复

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miaojiabing4楼

2024-01-15 16:49 回复

AFAGM(金币+1): 谢谢参与

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