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[交流]
关于在PDMS上电子束光刻的问题
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目前想直接在PDMS上进行电子束光刻图案 但在PDMS上甩了MMA，PMA和导电胶后，因为PDMS绝缘，即使涂了导电胶在SEM图像中完全对不上焦，曝光效果也很差(出现了线条弯曲和图像偏移)。 导电胶厚度从300nm到1，2微米效果都很差。 有前辈有相关工作的经历吗？求指导 |
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tzynew2楼
2024-01-14 14:08
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k 发自小木虫Android客户端
xiejf3楼
2024-01-14 20:09
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。 发自小木虫Android客户端
2024-01-15 16:49
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