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关于在PDMS上电子束光刻的问题
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[交流]
关于在PDMS上电子束光刻的问题
目前想直接在PDMS上进行电子束光刻图案
但在PDMS上甩了MMA,PMA和导电胶后,因为PDMS绝缘,即使涂了导电胶在SEM图像中完全对不上焦,曝光效果也很差(出现了线条弯曲和图像偏移)。
导电胶厚度从300nm到1,2微米效果都很差。
有前辈有相关工作的经历吗?求指导
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