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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 关于在PDMS上电子束光刻的问题
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AFAGM

新虫 (初入文坛)

[交流] 关于在PDMS上电子束光刻的问题

目前想直接在PDMS上进行电子束光刻图案
但在PDMS上甩了MMA，PMA和导电胶后，因为PDMS绝缘，即使涂了导电胶在SEM图像中完全对不上焦，曝光效果也很差(出现了线条弯曲和图像偏移)。
导电胶厚度从300nm到1，2微米效果都很差。
有前辈有相关工作的经历吗？求指导
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1楼 2024-01-14 14:00:59
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tzynew2楼
2024-01-14 14:08   回复  
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xiejf3楼
2024-01-14 20:09   回复  
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。 发自小木虫Android客户端
miaojiabing4楼
2024-01-15 16:49   回复  
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