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小内0613

新虫 (初入文坛)

[交流] FeCrAl磁控溅射

磁控溅射新手请教各位一个问题：FeCrAl在射频磁控溅射过程中辉光很弱，自偏压很高（超过100V的量程），200W2h镀膜出来的厚度仅有50nm左右，有大佬在实验过程中遇到相似的问题吗？

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1楼 2024-01-09 23:09:42
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