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聚酰胺酸旋涂到硅片上进行热亚胺化
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| 请问将聚酰胺酸旋涂到硅片上,热亚胺化成膜后,揭下来对硅片本身有影响吗?会黏吗?使用前硅片是否需要提前处理一下 |
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